El máquina montadora de obleas Es un equipo clave en la fabricación de semiconductores. Se utiliza para laminar con precisión película azul/UV sobre obleas adelgazadas, proporcionando soporte y protección. Se aplica en escenarios como la fijación de obleas, el soporte de precorte y la unión temporal para el empaquetado 3D.

Principio de funcionamiento

1. Proceso: El brazo robótico utiliza succión al vacío para recoger la oblea y encajarla a presión en el centro de la película preestirada. No debe haber burbujas ni contaminación por partículas. En algunos casos, se requiere calentamiento a 60-80 °C para mejorar la adhesión. Los requisitos de precisión son una desviación ≤ ±50 μm y un diámetro de burbuja ≤ 1 mm.

2. Componentes clave:

Dispositivo de succión de material: Se utilizan ventosas de silicona antiestáticas para garantizar una succión uniforme y evitar daños.

Sistema de alineación: Posicionamiento visual CCD de alta precisión (alcanzando ±5μm en 2025).

Módulo de control de temperatura: garantiza la uniformidad del calentamiento a baja temperatura.

Guía de uso:

1. Pretratamiento: La oblea debe estar libre de fragmentos y grietas. La altura del punto de tinta debe ser < 25,4 μm y la profundidad de la zanja grabada debe ser ≤ 10 μm.

2. Selección del material de la película: Normalmente se utiliza película azul con una adhesión de 80-95 μm. Para obleas ultrafinas, se utiliza película UV de baja tensión. Almacene las películas según la normativa.

3. Especificaciones de funcionamiento: Haga funcionar la máquina sin carga para calibrar el sistema de alineación. Después de laminar, deje reposar la oblea durante 5 minutos antes de transferirla.

4. Manejo de anomalías: En caso de burbujas, pásele un rodillo sin polvo. Si hay desfase, limpie las ventosas y calibre el CCD. Si el desfase persiste, revise la lubricación del riel guía.

Progreso tecnológico en 2025

1. Compatibilidad con múltiples tamaños: Hay pallets de cambio rápido disponibles para respaldar la producción de líneas mixtas de obleas de 6/8/12 pulgadas, lo que permite una conmutación eficiente.

2. Ajuste inteligente: Los algoritmos de IA optimizan los parámetros, logrando un rendimiento del 99,7% y reduciendo la depuración manual.

3. Adaptación de película UV: se agrega un nuevo módulo de irradiación UV para respaldar el cambio de materiales de película fotoescindibles.

Mantenimiento y seguridad

Limpie periódicamente el equipo, revise las ventosas y las lentes CCD, calibre el módulo de control de temperatura y reemplace las partes vulnerables de manera oportuna.

Asegúrese de una conexión a tierra confiable, evite tocar piezas móviles y áreas de alta temperatura para evitar descargas eléctricas, lesiones mecánicas y quemaduras.